华林科纳以CDS设备的持续稳定流量的供液，SDS设备精准的配比，顺畅的供液，辅助您线上设备，加快您的速率，提高您成品保障，提高您的产能。
华林科纳优势：
如何流量持续稳定？
CDS/SDS设备选择
供液系统，一般情况下，同种溶液的原液桶为两个，一备一用。当其中一个桶的液位传感器检测到该桶已经无液时，信号会自动使切换阀切换到另一个满桶继续工作。
另一种情况，受客户场地或厂务因素等影响，供液系统与工艺机台处于不同高度。
操作安全：系统具抗腐蚀性、毒性、耐压、防燃防爆等功能，保证操作者安全；
兼容性：与化学品接触部分完全与输送化学品兼容，对化学品零污染；
流量及扬程：满足供液过程中的流量和扬程要求，对高浓度化学品（如H2SO4、H3PO4）和具有垂直落差（供液系统与工艺机台不在同一高度）的动力空间；
自动控制操作运转：系统单元与机台界面自动化；
精确配比：系统连续供液（配液，补液）过程中准确可靠，脉动性较好；
取样分析：便于对系统中管路的粒子、金属离子等取样分析；
泄露警报：检测泄漏及紧急关闭系统（EMO）;
根据不同场地需求，不同药液，选择设备材质，管路走向，一备一用的原液桶自由切换，同时信号报警，更换原液，保障设备持续运行，提高产能；
泵的选择：
供液泵作为动力源，常与阀门、管道、流量计等组成自动供液系统，用于配液、补液。
供液泵的选择，采用CDA作为动力源，选用的材质，需对各种腐蚀性液体、带颗粒的液体、高粘度、易挥发、易燃的液体均可传输；
隔膜泵，风囊泵特点：具有自吸功能，可空转运行，没有机械密封，不会产生颗粒及污染，适用于中高黏度的液体，膜片抗腐蚀。
管路的安装处理
管路采用耐酸碱PFA材质；
规范施工安装（安装布局位置均按设计标准）
气液分离器，保证管路系统中传输液体的连续稳定性
如何配比（配液）精确？
根据不同化学品/Slurry 特性选择不同辅助功能：循环，搅拌，加湿，喷淋，吹扫等；
电子秤的运用：
电子秤精度一般1/3000~1/1000，主要用于相对稳定药液，对温度，压力等要求低，具有不易挥发性；
减少喷淋，吹扫，加湿，搅拌等辅助功能对混合储罐的连接影响，增强电子秤准确性；
进液管路侧向进液，不直冲罐体；
流量计的使用：
保证管路内不存在气泡，流速均匀，可采用我司特制气液分离器；
泵的选择，内膜片稳定运行，气动稳定；
管路安装，减少弯头及水锤现象；
确保管路内没有药液残留
公司历史悠久
技术支撑
华林科纳与苏州纳米研究所合资共建，保障了前沿技术、核心技术、关键技术的研究和开发；
研发团队
华林科纳具有高新技术企业资质，核心技术人员来自德国、台湾、苏州纳米所，均有十五年以上CDS和WETBENCH的研发设计经验；
2020年，我司对标国外一流厂商，建成千级湿法实验室，是国内唯一能配合用户实现DEMO的厂家
华林科纳供液系统供应的slurry>40种,chemical>20种,Fab>60，90%以上都是6寸、8寸、12寸FAB，在最新的14-28nm FAB里，有超过200套的供液系统业绩。产品全面对标国际领先产品，获得国内外头部客户的认可。
工艺优势
针对性强
针对特种化学品液体本身的特点和使用需求进行设计施工，因此具备很强的针对性。
针对性施工与检测
针对性优化设计
针对性选材与采购
安全性高
化学品管道设备强调安全第一，所有设计和施工符合相关安全标准和规范如：根据根据化学品性质确保设备材料耐腐和抗压能力。
安全标识明确，定时间检查空气质量
工具，设备，消防系统保养
电器电线及设备定时检修维修
灵活性大
可根据实际施工要求进行调整与规划。
灵活性施工可以在变化中保证施工进度及质量
灵活性售后，服务相应快24小时On call服务20分钟内响应客户服务时间在工作时间,12小时内到达客户现场，假日期间:18小时内到达。
选择正确的设备，专业设计团队，强大的专业制作团队，完善的售后服务，给您优秀的辅助，带来质的飞跃。
华林科纳（江苏）半导体设备有限公司（CSE）将继续为中国半导体行业做出努力和贡献。
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